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ILS-LM 系列中檔行程線性電機動平移臺的亮點包括堅硬的鋁制主體、優異的精度和高占空比能力，以及線性電機的其他特性，如更快的運動和更高的速度穩定性。 高速，高加速度和高響應性，磨損度極低 比螺桿驅動平移臺短 150 mm，使其更緊湊，更節省空間 高效可靠的線性電機，可實現較高扭矩和平滑運動 FEM 優化的鋁制機身可實現較高剛度，并最大限度減少熱膨脹和雙金屬彎曲效應
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1410產品描述
XM 超精密線性電機平移臺可提供持續、可靠的動力性能，運動精度可以達到 1 nm。如此強大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。 性能超高，最小增量運動為 1 nm 非接觸直接驅動系統，精度超高、動態性能優異且操作可靠 亞納米級高精度玻璃標度編碼器，重復精度為 80 nm 超大型無鐵心高效率線性電機可最大限度地減少發熱 靜音抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運動
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1145產品描述
MLT 薄型鋁制直線電機平臺緊湊、薄型、高精度線性位移臺將 XM 系列的超精密性能與VP 線性位移臺系列的緊湊性相結合。 這些位移臺集合了適用于各種工業應用的MKS精密位移臺的最新創新設計和專業知識，同時包含了與 MKS 運動控制器一起使用所需的基本設置。 MLT 位移臺非常適合半導體、工業及科研中的典型掃描或點對點應用，用于計量、傳感器測試和校準、對準和拾放組裝。
