簡要描述：VP-5ZA 精密垂直線性位移臺是一種超薄型精密垂直位移臺，非常適合于半導(dǎo)體晶片檢測、光子測試和封裝、微型組裝、精密計(jì)量和表面檢測系統(tǒng)。VP-5ZA 基于 VP-25X 線性位移臺中使用的已經(jīng)通過行業(yè)驗(yàn)證的技術(shù)，提供高可靠性運(yùn)動，具有納米靈敏度、高響應(yīng)性和直線軌跡。

垂直運(yùn)動的精度為 4.8 mm，具有傾斜平面概念
超薄型設(shè)計(jì)，采用簡化的 XYZ 配置

VP-5ZA 精密垂直線性位移臺產(chǎn)品規(guī)格

• 行程范圍
  4.8 mm
• 最小位移增量
  60 nm
• 最大速度
  5 mm/s
• 中心負(fù)載能力
  50 N
• 精度，典型值
  ±0.6 µm
• 精度，保證值
  ±1.5 µm
• 雙向重復(fù)精度，典型值
  ±0.10 µm
• 雙向重復(fù)精度，保證值
  ±0.25 µm
• 單向重復(fù)精度，典型值
  ±0.06 µm
• 單向重復(fù)精度，保證值
  ±0.15 µm
• 驅(qū)動螺距
  1 mm
• 減速輪
  5:1
• 編碼器分辨率
  0.0196 µm
• 限位開關(guān)
  Optical
• 原點(diǎn)
  Optical, centered
• 原點(diǎn)重復(fù)精度
  ±0.1 µm
• 連接器
  DB25 Male
• 俯仰，典型值
  ±30 µrad
• 俯仰，保證值
  ±50 µrad
• 俯仰順應(yīng)性
  45 µrad/Nm
• 滾轉(zhuǎn)，典型值
  ±30 µrad
• 滾轉(zhuǎn)，保證值
  ±100 µrad
• 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性
  50 µrad/Nm
• 偏擺，典型值
  ±30 µrad
• 偏擺，保證值
  ±50 µrad
• 偏擺順應(yīng)性
  10 µrad/Nm
• 電纜長度
  1.5 m
• 螺紋類型
  4-40 and 8-32 or M3 and M4 (M- version)
• 重量
  2.4 kg
• MTBF
  20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
• RoHS
  Compliant

VP-5ZA 精密垂直線性位移臺特征

構(gòu)建薄型 XYZ 平移臺疊堆

超薄精密 XYZ 系統(tǒng)由兩個(gè)VP-25XA 線性平移臺和一個(gè) VP-5ZA 垂直平移臺組成。與傳統(tǒng)平移臺疊堆相比，該解決方案提供了一種超薄替代方案，可從任何方向輕松接近負(fù)載。

保持軸承上的有效載荷

VP-5ZA 的提升方法可實(shí)現(xiàn)有效載荷在軸承上定心，并靠近位置反饋。這樣可以避免可引起角變形的任何懸臂負(fù)載，并產(chǎn)生具有更高載重能力的更精確的運(yùn)動。

VP-5ZA平移臺安裝在ILS高性能中程行程線性平臺的頂部，可選的VP-BP底板。

高效的傾斜平面設(shè)計(jì)

使用兩個(gè)楔形的布置可產(chǎn)生純垂直運(yùn)動，兩個(gè)楔形通過傾斜的循環(huán)滾珠軸承和兩對垂直安裝的雙列線性滾珠軸承滑塊移動通過彼此。

廣泛的平移臺兼容性

頂板上的螺紋孔圖案提供了與VP-25X 線性平移臺和其他 Newport 定位產(chǎn)品的兼容性。還提供用于晶片卡盤的標(biāo)準(zhǔn) 3 點(diǎn)安裝接口。要將 VP-5ZA 安裝到光學(xué)平臺或ILS 線性平移臺，請使用可選的VP-BP底座。可以使用平頭螺絲刀方便地進(jìn)行手動垂直調(diào)整。

高轉(zhuǎn)矩直流電機(jī)

一種高效、高轉(zhuǎn)矩直流電機(jī)，具有精密預(yù)裝長使用壽命的滾珠絲杠，可確保高速運(yùn)動并縮短穩(wěn)定時(shí)間。高分辨率線性刻度直接連接到移動軌道，消除了所有傳動系統(tǒng)引起的運(yùn)動誤差。此外，節(jié)省空間的固定讀取頭設(shè)計(jì)避免了任何電纜移動。結(jié)果是一個(gè)堅(jiān)固耐用的平移臺，MTBF 為 20000 小時(shí)。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for the VP-5ZA stage are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.

●SMC100CC Single Axis DC Motor Controller.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.